【課題】光スイッチに設けられる一対のミラーアレイにおいて、駆動電圧の高電圧化や製造の難しさを回避しつつ、ミラーを効率的に配置する。 【解決手段】ミラーアレイ2203a,2203bのミラー203の配置をミラーの傾斜角θの異方性を考量して最適化する。これにより、駆動電圧を高電圧化することなく、ミラー153の走査可能領域を有効利用することができ、効率的なミラー配置を実現することができる。 【選択図】 図95
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently dispose a mirror while avoiding increase in driving voltage and the difficulty in manufacturing in a pair of mirror arrays provided in an optical switch. <P>SOLUTION: The arrangement of mirrors 203 in the mirror arrays 2203a, 2203b is optimized in consideration of anisotropy of inclination angle θ of the mirror. Thus, the scan enabling area of a mirror 153 can be effectively utilized without making driving voltage higher and higher to achieve efficient mirror arrangement. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT




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    JP-2003057575-AFebruary 26, 2003Nippon Telegr & Teleph Corp , 日本電信電話株式会社マイクロミラー装置およびその製造方法

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